99.999٪ تیتانیوم با خلوص بالا کندوپاشی تارگت Gr1 تیتانیوم عنصری تجربی

هدف تیتانیوم 99.999% هدف کندوپاش با خلوص بالا تیتانیوم عنصری تجربی

هدف سفارشی تیتانیوم هدف گرد تیتانیوم

معمولاً ما یک گزارش بازرسی کیفی مانند این را با کالا ارائه می دهیم،

که ترکیب شیمیایی و خواص فیزیکی را نشان می دهد

هدف مربع تیتانیوم، هدف گرد تیتانیوم، هدف شکل خاص تیتانیوم

خلوص یکی از شاخص های عملکرد هدف است.

خلوص ماده مورد نظر تاثیر زیادی در عملکرد فیلم دارد.

الزامات عملکرد اصلی برای اهداف:

خلوص

خلوص هدف یکی از شاخص های اصلی عملکرد هدف است زیرا خلوص هدف تاثیر زیادی بر عملکرد فیلم دارد.با این حال، در کاربردهای واقعی، الزامات خلوص ماده مورد نظر یکسان نیست.به عنوان مثال، با پیشرفت سریع صنعت میکروالکترونیک، اندازه ویفر سیلیکونی از 6 اینچ، 8 به 12 اینچ افزایش یافت، عرض سیم‌کشی از 0.5 به 0.25، 0.18 و 0.13 میکرومتر کاهش یافت. خلوص هدف 99.995٪ بود.

محتوای ناخالصی

منبع اصلی فیلم رسوبی، اکسیژن و رطوبت مواد جامد و منافذ هدف است.اهداف برای کاربردهای مختلف برای سطوح مختلف ناخالصی نیازهای متفاوتی دارند.به عنوان مثال، اهداف آلومینیوم خالص و آلیاژهای آلومینیوم مورد استفاده در صنعت نیمه هادی دارای الزامات خاصی برای محتوای فلز قلیایی و محتوای عناصر رادیواکتیو هستند.

تراکم

به منظور کاهش منافذ جامدات هدف و بهبود عملکرد لایه های پراکنده شده، اهداف معمولاً باید متراکم تر باشند.چگالی هدف نه تنها بر سرعت کندوپاش، بلکه بر خواص الکتریکی و نوری فیلم نیز تأثیر می گذارد.هرچه چگالی هدف بیشتر باشد، عملکرد فیلم بهتر است.علاوه بر این، هنگامی که چگالی و شدت هدف افزایش می یابد، هدف می تواند تنش حرارتی در طول کندوپاش را تحمل کند.تراکم یکی از شاخص های عملکرد هدف است.

اندازه دانه و توزیع اندازه

معمولاً هدف چند کریستالی است و اندازه ذرات ممکن است از میکرومتر تا میلی‌متر باشد.در مورد همان هدف، سرعت کندوپاش هدف ریزدانه سریعتر از سرعت کندوپاش هدف دانه درشت است، در حالی که رسوب کندوپاش اندازه ذرات کوچکتر (توزیع یکنواخت) هدف دارای توزیع ضخامت یکنواخت (یکنواخت) است. .توزیع.